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近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所成功研制了一款集成角度传感器的高性能 MEMS 快反镜。它的镜面尺寸大、封装体积小，集成了高灵敏度角度传感器，具备良好的线性度、角分辨率、响应速度、重复定位精度和镜面动态形变，可以实现更精确的激光光束闭环控制，在激光卫星通信方面具有巨大的应用潜力。如图，封装后的 MEMS 快反镜仅 1 元硬币大小。

2876次浏览 标签： 科技;   卫星激光通信;   2025-07-02